SMIC N+3 的金属间距
真的比 Intel 18A 更小吗?
SemiAnalysis 拆解实验室(STEEL)首份公开报告:逆向拆解华为麒麟 9030,深入解析 SMIC 最先进的 N+3 制程,并以台积电 N6 工艺的联发科 Helio G99 作为对照基准。
约四年前,SemiAnalysis 曾披露 SMIC 已开始量产 7nm(N+1)芯片。如今,SMIC 第三代 7nm(N+3)制程已搭载于华为 麒麟 9030,最小金属间距(metal pitch)达 32.5nm,比 Intel 最新 Panther Lake(基于 18A)量产的 36nm 紧约 10%。
这个标题为真,却是一个被精挑细选的片面指标。N+3 靠激进的 DUV 多重曝光与 DTCO(设计-工艺协同优化)达到了 台积电 N6 级别的密度,但代价是更高的复杂度、更差的能效与更难的工艺控制。本文涵盖 SMIC 的 N+3 工艺、华为的封装、内存、架构等多个维度的拆解发现。
01
一句话结论:标题为真,但被精挑细选
N+3 达到 N6 级密度,却在能效、成本、工艺成熟度上全面落后于前沿节点
32.5nm
N+3 最小 metal pitch(M0)
比 Intel 18A Panther Lake 的 36nm 紧约 10%
113.4
MTr/mm² 晶体管密度
无 EUV 却略超用 EUV 的成熟 N6(107.7)
140mm²
麒麟 9030 总裸片面积
与上代 9020 几乎相同,但用得更激进
29mm²
Helio G99 面积(对照基准)
约麒麟 1/5,基于台积电 N6
关键洞察
M0 只是单元内的局部布线层,它的有用程度取决于整个互连栈:M1/M2 间距、走线轨道数、过孔与线电阻、设计规则、掩膜数、套刻控制与布线灵活性。SMIC 用最紧的一层数字,掩盖了它在能效、工艺成熟度与成本上与 Intel 18A / 台积电 N3P 的真实差距——这正是"片面指标"的含义。
从这次拆解中我们同时看到了中国的进步与约束。SMIC N+3 达到了 N6 级逻辑密度,但需要远更激进的 DUV 多重曝光,因此在工艺成熟度和成本上都比不上 N6。麒麟 9030 Pro 的表现与三年前的安卓旗舰相当,远落后于苹果、高通、联发科、三星的当前旗舰 SoC,能效差距更大。出口管制没有阻止华为和 SMIC 出货先进硅片,但确实迫使它们走上了一条不同的路。
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